40周年記念事業プログラム
Past, present, and future on dry process
ドライプロセスシンポジウムはドライエッチングを中心とするプラズマ関連の学会で、今年で40周年を迎えることになります。これを記念して若手を中心に過去を振り返り、未来に向けての発展の方向性を議論するという企画を記念イベントとして開催することに致しました。
プラズマの新たな発展分野についてIoT，エネルギー，デバイス，クルマ，医療，ロボットなど，社会基盤との連携も含めて，それぞれの分野を牽引する著名な方々をお招きし，今後１０年から先を見越した展望をご説明していただきます。未来に繋がるアプローチとともに，パネルディスカッションも開催致します。
11月13日（火）午後
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小池淳義 (サンディスク，ウェスタン・デジタル) 講演題目（予定）"Advanced Semiconductor Manufacturing – Intelligent Fab Systems and Smart Equipment" |
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リチャード・ファン・デ・サンデン (Dutch Institute for Fundamental Energy Research(DIFFER) / The
Eindhoven University of Technology (TU/e), the Netherland) 講演題目（予定）"Renewable energy driven non-equilibrium chemistry: plasma chemistry as the special case" |
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若林整(東京工業大学) 講演題目（予定）"Benchmark on Advanced Logic Devices and Predictive Discussion on Future LSIs" |
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原田香奈子 (科学技術振興機構／東京大学) 講演題目（予定）"Bionic Humanoids: current research and future vision" |
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森川高行 (名古屋大学) 講演題目（予定）"Mobility Services with Autonomous Cars in Nagoya University COI Project" |
パネルディスカッション
未来技術への挑戦（IoT，エネルギー，ビックデータ，人工知能，デバイス，クルマ，医療，ロボット，シェアリングエコノミーなど）
The past, present, and future on dry process
International Symposium on Dry Process (DPS2018) will be held at Nagoya University, Nagoya in Japan, on November 13 to 15, 2018. The Symposium covers all aspects of the rapidly evolving fields of dry processes, including but not limited to plasma etching and deposition processes, diagnostics and modeling of plasmas and surfaces, and surface modifications by plasmas. The DPS has provided valuable forums for in-depth discussion among professionals and students working in this exciting field.
Plenary talks on Nov. 13 Tuesday AFTERNOON
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Atsuyoshi Koike (SanDisk and Western Digital Technologies, Inc., Japan) Tentative Title "Advanced Semiconductor Manufacturing – Intelligent Fab Systems and Smart Equipment" |
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Richard van de Sanden (Dutch Institute for Fundamental Energy Research(DIFFER) / The Eindhoven University of Technology (TU/e), the Netherland) Tentative Title "Renewable energy driven non-equilibrium chemistry: plasma chemistry as the special case" |
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Hitoshi Wakabayashi (Tokyo Institute of Technology, Japan) Tentative Title "Benchmark on Advanced Logic Devices and Predictive Discussion on Future LSIs" |
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Kanako Harada (JST/The University of Tokyo, Japan) Tentative Title "Bionic Humanoids: current research and future vision" |
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Takayuki Morikawa (Nagoya University, Japan) Tentative Title "Mobility Services with Autonomous Cars in Nagoya University COI Project" |
Panel discussion
Challenges in industrial revolution (e.g. IoT, Energy, big data, artificial intelligence (AI), Mobility, Medicine, Robot, and the sharing economy) into social life.
Looking ahead
The prosperity of all societies - now and in the forseeable future - depend on our human's evolving capacity to learn, inspire, create and innovate. – F. D. Ackerman